ＶＥＳＴＡシリーズ
ＤＳＩの横型シリーズ
４インチの小型炉から８インチ・１２インチの大型炉まで設計・製造いたします。　




ＶＥＳＴＡ３１００    ４インチ３段炉

ＤＳＩの小型横型炉はコンパクト・低価格・短納期。

強制空冷仕様も選べます。

各種プロセスに対応。 











ＶＥＳＴＡ３２００    ８インチ３段炉

ＤＳＩでは米国ＡＭＴＥＣＨ社のカンチレバーシステムを採用。

ボートの移載はＩボール・Ｓ−３００・Ｅ−３００システムからチョイスできます。

  

炉は１２５０℃の高温処理プロセス対応。

均熱長は８００ｍｍ又は１０００ｍｍ

コントローラはプロセスに見合った制御システムをチョイス。



※３００ｍｍ対応ＶＥＳＴＡ２３００も製作可。