ＶＥＳＴＡ−１０５０Ｗ／Ｄ

Ｒ＆Ｄ／実験室用超小型横型酸化炉


半導体工場の装置と同等の性能を有しながら、実験机の上に設置できる超小型横型炉です。 


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ウェーハ移載機
ＭＷＣ−１５０Ｓ１


●低コストを追求

●石英ボート、カセットの双方向移載

●6inchと8inchにチェンジキット対応

●エアー源不要



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